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半導體行業(yè)精密清洗機

作者: 來源: 日期:2016-12-26 19:21:48 人氣:613 評論:0


產(chǎn)品概述:

u  主要清洗零件表面的氧化物,如釬焊鋁管,稀有金屬(鉭、鈦、鎢鉬等),超純銅等精密產(chǎn)品。

u  清洗工藝:超聲波表面清洗——超聲波多級精密清洗(酸洗、堿洗)——多級干燥(真空)

設備特點:

u  采用多套機械手控制工藝節(jié)拍,機械手采用伺服電機運行更加穩(wěn)定。

u  采用多級酸洗和超聲波精密清洗,真空/熱風干燥。

u  PLC全程序控制及觸摸屏人機界面??啥嗵壮绦蚩刂疲瑵M足不同產(chǎn)品的清洗工藝。

uPP防腐材料全封閉設計,配有酸氣回收過濾系統(tǒng),滿足排放標準。


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